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高真空滑軌爐核心為一套滑道爐，實(shí)現(xiàn)加熱及退火的功能，進(jìn)氣端配有高精度三路質(zhì)量流量計(jì)，用以精確控制管內(nèi)氣氛；同時(shí)設(shè)備配有渦輪分子泵組，能夠快速達(dá)到高真空環(huán)境，zui大程度的排除空氣氣氛對(duì)實(shí)驗(yàn)的干擾?；罓t由1200℃標(biāo)準(zhǔn)單溫區(qū)管式爐和高精度滑軌組成

1600℃水平閃燒爐可廣泛應(yīng)用于各類陶瓷材料的閃燒燒結(jié)工藝中，如：固體氧化物燃料電池領(lǐng)域、鐵電熱電陶瓷領(lǐng)域、固態(tài)電解質(zhì)等領(lǐng)域中

RTP快速退火爐是一種用于半導(dǎo)體制造和材料處理的設(shè)備，RTP退火爐核心特點(diǎn)是快速升降溫和jingque溫控，RTP退火爐適用于短時(shí)高溫工藝。

桌面RTP快速退火爐是一種用于半導(dǎo)體制造和材料處理的設(shè)備，RTP速退火爐核心特點(diǎn)是快速升降溫和溫控，RTP退火爐適用于短時(shí)高溫工藝。

RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。

鹵素?zé)鬜TP退火爐是一款12寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)真正的基底溫度測(cè)量，不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償，溫度控制精準(zhǔn)，溫度重復(fù)性高，客戶包括國(guó)際上許多半導(dǎo)體公司及科研團(tuán)隊(duì)，是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇