產(chǎn)品型號(hào)  

CY-MSH325X-DCDCRF-SS  

供電電壓  

AC220V，50Hz  

整機(jī)功率  

6KW  

系統(tǒng)真空  

≦5×10^-4Pa  

樣品臺(tái)  

外形尺寸  

φ150mm  

加熱溫度  

≦750℃  

控溫精度  

±1℃  

可調(diào)轉(zhuǎn)速  

≦20rpm  

磁控靶槍  

靶材尺寸  

直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm  

冷卻模式  

循環(huán)水冷  

水流大小  

不小于10L/Min  

靶槍數(shù)量  

3  

真空腔體  

腔體尺寸  

直徑φ325mm，高度600mm  

腔體材質(zhì)  

SUU304不銹鋼  

觀察窗口  

直徑φ100mm  

開啟方式  

前面開啟  

氣體控制  

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM  

真空系統(tǒng)  

配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S  

膜厚測量  

可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?  

濺射電源  

直流電源功率500W*2，射頻電源功率300Ｗ  

控制系統(tǒng)  

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)  

真空計(jì)  

電阻規(guī)真空計(jì)  

設(shè)備尺寸  

1090mm×900mm×1250mm  

設(shè)備重量  

350kg