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桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀不銹鋼腔體
簡(jiǎn)要描述:

本設(shè)備為桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀不銹鋼腔體,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ254-II-DC-SS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-17
  • 訪  問(wèn)  量:252

詳細(xì)介紹

品牌CYKY價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設(shè)備為桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀不銹鋼腔體,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。 本套配置采用高真空不銹鋼腔體,腔體設(shè)置帶擋板的石英觀察窗,便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄;腔體設(shè)計(jì)真空性能優(yōu)良,造型小巧,十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。同時(shí)設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái),可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì),操作邏輯簡(jiǎn)單,操作界面直觀,利于上手。

磁控鍍膜儀典型應(yīng)用:

•    科研領(lǐng)域:納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。

•    電子行業(yè):半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。

•    教學(xué)演示:材料科學(xué)、真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)。

•    以下是磁控鍍膜儀的典型實(shí)用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價(jià)值:


桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀不銹鋼腔體技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ254-II-DC-SS

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ100mm

可調(diào)轉(zhuǎn)速

≦20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ254mm X 300mm

觀察窗口

前置式

腔體材料

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

上蓋開(kāi)啟及前開(kāi)門

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

雙極旋片泵

分子泵

大抽速渦輪分子泵

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa

抽氣接口

ISO63

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

前級(jí)泵抽速1.1L/s

輸出功率

直流電源500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

710*480*580


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